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真空泵之半導體產業介紹
發布日期:2019-08-02
創新是企業的成長動能,漢鐘精機是一家專業壓縮機生產企業,經過多年持續不斷地發展和積累,公司在螺桿、渦旋、離心等壓縮機領域擁有了雄厚的技術實力。目前,公司主要產品有制冷產品、空氣產品、真空產品和熱泵產品等,廣泛應用于各行各業,其中制冷產品主要包括螺桿壓縮機和離心壓縮機,主要應用于商用中央空調和冷鏈物流行業;空氣產品主要包括空氣壓縮機和空壓機機體,主要用于工程機械等氣源動力行業;真空產品主要應用于光伏、半導體、鋰電池、醫藥化工等行業;熱泵主要應用于集中采暖、工業制熱等行業。 
公司真空產品主要是在螺桿、羅茨等相應技術的研制開發、生產銷售及售後服務,目前廣泛應用于光伏、生物醫藥、鋰電等等領域。近幾年,在光伏、LED半導體等領域已實現大批量供貨,尤其在光伏領域,以優異的性價比贏得了較大的市場份額,獲得國內多家知名光伏企業青睞和好評。現階段,半導體產業是公司真空產品重點發展方向之一,可廣泛運用于半導體行業Load Lock、Metrology、PVD、Ashing、ETCH、IPM、CVD、ALD等各制程,是行業重要的真空通用設備之一。 
目前,公司具備完整的設計研發團隊,可自行開發轉子線型模擬軟件,分析氣體壓縮、氣導設計、流體力學、機械結構及材料力學等;真空泵的轉子、殼體、端板等重要零部件亦可自行加工制造,廠內具備轉動平衡、特殊表面薄膜鍍層、精密組裝、氦氣測漏、長時間運轉測試等測試設備。同時,利用三次元量測儀器,量測每台真空泵組件的精度,控管並實時修正加工質量,保證產品出廠性能。 
經過不斷地技術改善和優化,公司真空產品抽氣量達到80-7000m3/h,可滿足各制程抽氣需求。公司具備專業超高精度螺桿設計加工技術,螺桿轉子具有更短的抽氣路徑、更少的密封面,能更有效的處理嚴苛制程,並延長使用壽命;同時具備半導體專有奈米陶瓷涂層,能更好的處理腐蝕氣體、粉塵及粘稠物質;熱氮系統方面,在CVD/ETCH制程中表現出色;雙層殼體加冷卻系統方面,更能保證轉子的均勻降溫,減少磨損,增加使用壽命。另外,公司自主研發設計的水冷罐裝電機,適用于半導體廠各制程的電壓,有效降低電機溫度,具備優秀的密封設計及低噪音優勢。公司主要以柔性生產為主,擁有全球性銷售和服務網絡,滿足客戶不同需求。利用公司雲端系統服務及公司全天候無休服務理念,進一步提升用戶滿意度,為客戶創造更安心、舒心的使用環境。 
經過多年努力,公司已在光伏、鋰電等產業的應用得到了廣大用戶的認可,目前公司已擁有SEMI 安全基準驗證證書,同時也是集成電路材料和零部件產業技術創新戰略聯盟會員。對真空產品而言,除了穩定市場佔有率外,半導體產業將是重點發展方向之一。目前,公司正積極在國內半導體產業擴大推廣,通過台灣漢鐘在半導體產業的成功案例,已成功通過國內多家大型半導體企業的驗證,目前與北京、深圳、上海等多家半導體設備企業已展開合作;另外,在芯片代工廠方面也在同步展開銷售,如無錫、江陰、上海等地企業。隨著半導體行業不斷發展,公司在半導體持續深耕,產品不斷更新優化,公司真空產品同樣會在半導體市場贏得一席之地!

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